2024年11月19日,联合璃陶日本电气硝子株式会社(Nippon ElectricGlass Co.,涉及Ltd.,NEG)宣布与 Via Mechanics,半导板Ltd. 签署了联合开发协议,旨在加速开发用于半导体封装的体封玻璃或玻璃陶瓷制成的基板。
目前的装玻半导体封装中,以玻璃环氧基板等有机材料为基材的瓷基封装基板仍占主流,但在未来需求量更大的联合璃陶生成型AI等高端半导体封装中,核心层基板和微加工孔(通孔)需要具有电气特性,涉及以实现进一步小型化、半导板更高密度和高速传输。体封由于基于有机材料的装玻基板难以满足这些需求,因此玻璃作为替代材料引起了人们的瓷基关注。
另一方面,联合璃陶普通玻璃基板在使用CO₂激光打孔时容易产生裂纹,涉及增加了基板损坏的半导板可能性,因此使用激光改性和蚀刻形成通孔的难度较高且加工时间较长。为了能够使用CO₂激光器形成通孔,日本电气硝子与Via Mechanics签订了联合开发协议,将日本电气硝子多年来积累的玻璃和玻璃陶瓷专业知识与Via Mechanics的激光器相结合,同时引进Via Mechanics的激光加工设备,旨在快速开发半导体封装玻璃基板。
审核编辑 黄宇
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